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광학ㆍ전자 영상장비
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주사전자현미경
JSM-7100F집속된 전자빔으로 시료 표면을 주사하며 고해상도 이미지와 원소·결정 정보를 분석하는 전계방출형 주사전자현미경(FE-SEM) 장비
| 일련번호 | 5012 |
|---|---|
| 장비명 영문 | Field Emission Scanning Electron Microscope |
| 약칭 | FE-SEM |
| 제작사 | JEOL |
| 모델명 | JSM-7100F |
| 도입년도 | 2012년 02월 06일 |
| 시설장비등록번호 | NFEC-2025-06-306587(ZEUS) |
| 보유기관 | 연세대학교 산학협력단 |
| 표준분류 | - |
| 활동범위 | 공동활용 |
| 활용대상 | 기관외부활용,기관내부활용 |
| 예약방법 | 기관홈페이지,유선문의 |
장비 상세정보
주료 구성 및 기능
Resolution
1.5 nm (30 kV)
4.0 nm (1 kV)
3.0 nm (15 kV, PC 1 nA)
18 nm(15 kV, BED)
Magnification
Direct ×5 to ×600,000
Displayed ×14 to ×1,679,449
Accelerating voltage : voltage 0.5 kV to 30 kV
Probe current : 1 pA to 20 nA
이용안내
직접사용
이용안내
- 시료성상고체
- 필요 시료양/두께가로·세로 약 1 cm 정도 크기, 두께 1 cm 이하
- 전처리 안내표면 오염이 없고 평탄하게 고정
적용불가시료
액체시료 불가
활용사례
나노패턴·반도체 표면 형상 측정, 소재 표면 결함 및 입자 관찰
이용료 안내
- 이용단가50,000원/시간 당
기관/담당자 정보
- 보유기관명연세대학교 공동기기원
- 주소인천광역시 연수구 송도동 과학로 연세대학교 국제캠퍼스 자유관B 106-3호
- 담당자 연락처윤성민 / 02-2123-6974
장비 위치안내
설치장소인천광역시 연수구 송도동 과학로 연세대학교 국제캠퍼스 자유관B 105호
문의전화02-2123-6974
활용 및 연구분야
환경, 의약, 식품, 화장품 등 연구
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