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광학ㆍ전자 영상장비

고분해능주사전자현미경

SU 8010

고체 시료의 표면 이미지를 최대 팔십만 배까지 확대하여 시료를 구성하는 요소, 형상, 사이즈 등을 선명하게 관찰

장비 정보
일련번호	0026
장비명 영문	High Resolution Scanning Electron Microscope
약칭	HR-SEM
제작사	Hitachi
모델명	SU 8010
도입년도	2014년 02월 18일
시설장비등록번호	NFEC-2014-03-186271(ZEUS)
보유기관	인하대학교 표준분석연구원
표준분류	-
활동범위	공동활용
활용대상	기관외부활용,기관내부활용
예약방법	기관홈페이지,유선문의

예약 바로가기

장비 상세정보

주료 구성 및 기능

● 사양

- Resolution (SE): 1.0nm guaranteed at 15kV
　　　　　　　　 1.3nm guaranteed at 1kV
- Magnification: x20 to x800,000 (mag on photo)
- Accelerating voltage: x20 to x800,000 (mag on photo)
- Specimen stage movement:
　　 X : 0 ~ 50mm (motorized)
　　 Y : 0 ~ 50mm (motorized)
　　 Z : 1.5 ~ 30mm
　　 T : -5˚ ~ +70˚
　　 R : 360˚

이용안내

직접사용,시험의뢰,기타

적용불가시료

수분 시료, 유분 시료

활용사례

- 박막 코팅층 두께 측정
- 반도체 웨이퍼 나노패턴 분석
- 입자 사이즈 측정
- 결정립 크기 측정

이용료 안내

이용단가100,000원/시간
추가비용2,000원/이미지, Pt코팅 20,000원/회

기관/담당자 정보

보유기관명인하대학교 표준분석연구원
주소인천광역시 미추홀구 인하로 100/인하대학교 60주년-037
담당자 연락처이경희 / 032-860-8742

장비 위치안내

설치장소인천광역시 미추홀구 인하로 100 인하대학교 60주년-037

문의전화032-860-8742

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활용 및 연구분야

고분자, 반도체, 배터리, 금속, 세라믹 등

사용 시 주의사항

담당자 문의 후 의뢰

BIOMAP

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