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연구장비

INSTRUMENT
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광학ㆍ전자 영상장비

주사전자현미경

S-4300SE

Thermal Type의 Gun Electron Source로부터 발생되는 Electron Beam이 시료에 조사되면서 발생되는 다양한 전자를 이용하여 여러 분야 시료 표면의 미세한 구조를 관찰할수 있고 Electron Backscattered Diffraction Pattern(EBSD)를 측정할수 있으며 정량,정성적으로 원소분석이 가능하다.

장비 정보
일련번호 0009
장비명 영문 FE-Scanning Electron Microscope
약칭 FE-SEM
제작사 HITACHI
모델명 S-4300SE
도입년도 2006년 02월 23일
시설장비등록번호 NFEC-2008-04-051814
보유기관 인하대학교 표준분석연구원
표준분류 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
활동범위 공동활용
활용대상 기관외부활용,기관내부활용
예약방법 기관홈페이지,유선문의
예약 바로가기

장비 상세정보

주료 구성 및 기능

● 분석기능

- 금속, 재료, 반도체, 섬유 및 고분자 물질 등 광범위 시료의 미세구조 관찰 및 성분 분석
- 회절패턴
- 미생물과 금속, 재료 등 미세입자(powder)의 표면 미세구조 및 형상 관찰 
- 반도체 등의 박막 두께 측정


● 사양
- Elctron Gun : ZrO/ W Schottky Emission
- 분해능 : 30KV- 1.5nm / 1KV - 5nm
- 배율 : 20 - 500,000x
- 가속전압 : 0.5 - 30KV

이용안내

직접사용,시험의뢰,기타

적용불가시료

액체시료 불가

활용사례

실제 시료를 사용하여 사용한 사례를 간단하게 작성

이용료 안내
  • 이용단가80,000원/시간, 코팅: 20,000원/회
  • 추가비용이미지: 2,000원/장, EDX60,000원/시간
기관/담당자 정보
  • 보유기관명인하대학교 표준분석연구원
  • 주소인천광역시 미추홀구 인하로 100 인하대학교 60주년-037
  • 담당자 연락처박미경 / 032-860-8738
장비 위치안내

설치장소인천광역시 미추홀구 인하로 100 인하대학교 60주년-037

문의전화032-860-8738

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활용 및 연구분야

금속, 반도체, 재료, 미생물, 고분자 등

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