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연구장비

INSTRUMENT
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광학ㆍ전자 영상장비

3차원 비접촉 미세형상 측정기

VK-X3000

레이저 공초점 광학계, 포커스, 베리에이션 광학계, 백색간섭 등 을 이용하여 표면 형상 측정

장비 정보
일련번호 1026
장비명 영문 Nanosurface 3D Optical Profiler
약칭 -
제작사 KEYENCE
모델명 VK-X3000
도입년도 -
시설장비등록번호 -
보유기관 인천대학교 공동기기원
표준분류 -
활동범위 공동활용
활용대상 기관외부활용,기관내부활용
예약방법 기관홈페이지,유선문의
예약 바로가기

장비 상세정보

주료 구성 및 기능

● 규격

1) 측정부
가. 측정광학계 : 레이저 공초점 광학계, 포커스베리에이션광학계, 백색간섭
나. 전동 리볼버 : 대물렌즈, 전용 링조명
다. 검출기 : 포토멀티플라이어, C-MOS 카메라
라. 광원 : 600 nm대 레이저, 백색 LED 광원


● 적용(응용)분야

단면 형상·형상 비교·선 거칠기· 복수 선 거칠기·면 거칠기·체적· 표면적·면적·막 두께 측정

이용안내

시험의뢰

이용안내
  • 시료성상고체
  • 필요 시료양/두께4 inch 이하
  • 전처리 안내직접문의
적용불가시료

액체

활용사례

표면 구조 및 미세형상 관찰

이용료 안내
  • 이용단가기본 20,000원/30분(최초 1시간 이후 30분 단위 청구)
기관/담당자 정보
  • 보유기관명인천대학교 공동기기원
  • 주소인천광역시 연수구 아카데미로 119 (송도동 12-1) 인천대학교 송도캠퍼스 9호관 104B
  • 담당자 연락처032-835-4219
장비 위치안내

설치장소인천광역시 연수구 아카데미로 119 (송도동 12-1) 인천대학교 송도캠퍼스 9호관 104B

문의전화032-835-4219

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활용 및 연구분야

재료, 반도체, 전자, 의료기기, 자동차, 항공, 식품, 화장품, 에너지, 환경

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