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광학ㆍ전자 영상장비

X-선 광전자 분광기(PHI)

PHI 5000 Versa Probe Ⅱ

시료의 표면에 특성 X선을 입사하여 방출되는 광전자의 운동에너지를 측정함으로써 원자상의 결합에너지를 측정할 수 있다. 분석하고자하는 시료의 표면상의 조성 및 화학적인 결합상태를 알 수 있고, Monochromator가 장착된 Al X-ray source를 사용할 경우, 높은 분해능에 의한 결과를 얻을 수 있다. 또한, Ar Ion gun을 이용하여 시료 표면의 cleaning 및 etching을 통하여 깊이에 따른 조성 분포를 알아보는 depth profiling 실험도 가능하다. 표면상의 얇은 층에 대한 분석이 가능하므로 표면 원자층에 대한 선택적인 분석 및 depth profiling에 의한 박막의 성장 메커니즘 연구 분야에도 사용된다.

장비 정보
일련번호	1001
장비명 영문	X-ray photoelectron spectroscopy(PHI)
약칭	XPS, UPS, REELS
제작사	ULVAC-PHI, Inc.
모델명	PHI 5000 Versa Probe Ⅱ
도입년도	2012년 7월
시설장비등록번호	-
보유기관	인천대학교 공동기기원
표준분류	-
활동범위	공동활용
활용대상	기관외부활용,기관내부활용
예약방법	기관홈페이지

예약 바로가기

장비 상세정보

주료 구성 및 기능

● 규격
- 2012년 7월 도입

▶ Model : PHI 5000 VersaProbe ll

▶ Specification

1. Charge Neutralization System
1) Methode : Dual beam charge neutralization or equivalent methode
2) Analysis for insulating samples
2. Minimum X-ray beam size : 10㎛
3. XPS Energy Resolution : 0.50eV FWHM for Ag 3d 5/2 peak
4. XPS Elemental Sensitivity vs Resolution on Ag Sample
5. Max Current of Ar Sputter Gun :≥ 5.0 ㎂at 5㎸

이용안내

시험의뢰

이용안내

시료성상고체, 분말, 액체불가
필요 시료양/두께고체 : XPS 약 0.5x0.5cm 이상, UPS/REELS : 1.5x1.5cm 분말 : 작은시약스푼
전처리 안내건조

적용불가시료

액체

활용사례

조성, 결합상태, 깊이정보, Work function, Valence band 측정

이용료 안내

이용단가기본(시간) : 60,000원/30분(최초 1시간 이후 30분 단위 청구), depth : 70,000원/30분(최초 1시간 이후 30분 단위 청구), UPS : 80,000원/시료 REELS 50,000원/시료

기관/담당자 정보

보유기관명인천대학교 공동기기원
주소인천광역시 연수구 아카데미로 119 (송도동 12-1) 인천대학교 송도캠퍼스 9호관 213호
담당자 연락처032-835-4219

장비 위치안내

설치장소인천광역시 연수구 아카데미로 119 (송도동 12-1) 인천대학교 송도캠퍼스 9호관 213호

문의전화032-835-4219

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활용 및 연구분야

재료과학, 나노기술, 반도체, 화학, 촉매, 환경, 에너지, 생명과학, 의약, 식품, 화장품

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