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광학ㆍ전자 영상장비

이온빔 단면가공기

IB-09020CP

Ar Ion Beam을 이용해 샘플의 단면을 가공하여 시료 관찰을 돕는 가공 장비

장비 정보
일련번호	1010
장비명 영문	Cross Section Polisher
약칭	CP
제작사	JEOL
모델명	IB-09020CP
도입년도	-
시설장비등록번호	-
보유기관	인천대학교 공동기기원
표준분류	-
활동범위	공동활용
활용대상	기관외부활용,기관내부활용
예약방법	기관홈페이지,유선문의

예약 바로가기

장비 상세정보

주료 구성 및 기능

● 원리 및 특성

▶ Cross Section Polishing
▶ Ar Ion Beam을 이용해 샘플의 단면을 가공하여 시료 관찰을 돕는 가공 장비

● 규격

▶ Model : JEOL Model IB-09020CP (CP II)
▶ Specification
·Accelerating voltage : 2 to 6㎸
·Ion beam diameter : 500㎛
·Milling rate :100㎛/h (6㎸, Silicon, 100㎛from edge)
·Max. specimen size : 11㎜ × 10㎜ × 2㎜
·Specimen swing angle : ±30。
·Gas : Argon(flow rate controlled by mass-flow controller)

이용안내

시험의뢰

이용안내

시료성상고체
필요 시료양/두께Max. specimen size : 11㎜ × 10㎜ × 2㎜

적용불가시료

액체

활용사례

- 이온빔을 통한 정밀한 단면을 형성하여 SEM 분석에 최적화된 시편 준비
- 다층 박막 구조 손상 없이 깨끗한 단면을 구현할 수 있어 고해상도 계면 관찰에 효과적

이용료 안내

이용단가기본가공 10,000원/30분

기관/담당자 정보

보유기관명인천대학교 공동기기원
주소인천광역시 연수구 아카데미로 119 (송도동 12-1) 인천대학교 송도캠퍼스 9호관 222호
담당자 연락처032-835-4330

장비 위치안내

설치장소인천광역시 연수구 아카데미로 119 (송도동 12-1) 인천대학교 송도캠퍼스 9호관 222호

문의전화032-835-4330

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활용 및 연구분야

반도체, 물리, 화학 등

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