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표면분석기

DEKTAK XT-E

Surface profiler는 nano meter ~ um 단위의 코팅 또는 필름 막의 두께를 측정할 뿐만 아니라, 표면의 거칠기, Waviness를 측정분석이 가능하다.

장비 정보
일련번호	1005
장비명 영문	Surface profiler
약칭	-
제작사	Bruker
모델명	DEKTAK XT-E
도입년도	-
시설장비등록번호	-
보유기관	인천대학교 공동기기원
표준분류	-
활동범위	공동활용
활용대상	기관외부활용,기관내부활용
예약방법	기관홈페이지,유선문의

예약 바로가기

장비 상세정보

주료 구성 및 기능

● 규격

▶ Model: Bruker DEKTAK XT-E

▶ Specification
1. Vertical resolution: 1Å max. (at 6.55um range)
2. Vertical measurement range : 20 nm ~ 1000um (1mm)
3. Scan length range: 50um ~ 55mm
4. Data points per scan: 120000 maximum
5. Step height repeatability: 5Å 1sigma on 1um step
6. Stylus force: 1mg to 15mg
7. Stylus size: 1.25um radius
8. Sample max size :4-inch Square Block
9. Scan speed : 2㎛/sec≤X≤200㎛/sec
10. Automatic data leveling/Software-assisted stage leveling

이용안내

직접사용,시험의뢰

이용안내

시료성상고체
필요 시료양/두께4inch 웨이퍼 크기 이내
전처리 안내직접 문의

적용불가시료

액체

활용사례

nano meter ~ um 단위의 코팅 또는 필름 막의 두께, 표면의 거칠기, Waviness

이용료 안내

이용단가기본(시간) 10,000원/30분(최초 1시간 이후 30분 단위 청구)

기관/담당자 정보

보유기관명인천대학교 공동기기원
주소인천광역시 연수구 아카데미로 119 (송도동 12-1) 인천대학교 송도캠퍼스 9호관 223호
담당자 연락처032-835-4331

장비 위치안내

설치장소인천광역시 연수구 아카데미로 119 (송도동 12-1) 인천대학교 송도캠퍼스 9호관 223호

문의전화032-835-4331

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활용 및 연구분야

환경, 의약, 식품, 화장품 등 연구나 사용 분야 대한 정보기록

사용 시 주의사항

직접사용 시 연구실 안전교육(www.lab.go.kr 사이트 등) 이수증 제출 필수, 간단 사용자 교육 시 별도 비용 발생

BIOMAP

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