열 전계방출형 주사 전자현미경 7001F > 연구장비

광학ㆍ전자 영상장비

열 전계방출형 주사 전자현미경 7001F

JSM-7001F

주사 전자현미경은 전자 빔이 표면에 집중되어 일차 전자만 굴절되고 표면에서 발생된 이차전자를 수집하여 그 신호들을 형상화시키는 현미경으로서 시료 표면의 정보를 얻을 수 있다. 현재 보유중인 FE-SEM는 낮은 가속전압에서도 시편 관찰이 용이하여 전자 빔에 의한 시료의 손상을 최소화 할 수 있다. 또한 EDS가 부착되어 있어 시편의 성분과 표면성분에 관한 연구를 수행할 수 있다. 이러한 장점으로 물질연구, 생물학, 고분자 특성연구, 반도체 연구 등 많은 분야에 널리 이용된다.

장비 정보
일련번호	1017
장비명 영문	Field Emission Scanning Electron Microscope
약칭	FE-SEM 7001F/EDS
제작사	JEOL
모델명	JSM-7001F
도입년도	-
시설장비등록번호	-
보유기관	인천대학교 공동기기원
표준분류	-
활동범위	공동활용
활용대상	기관외부활용,기관내부활용
예약방법	기관홈페이지,유선문의

예약 바로가기

장비 상세정보

주료 구성 및 기능

● 규격

▶ 2011년 12월도입
▶ Model : JEOL JSM-7001F
▶ Specification
·Resolution : 1.2㎚(30㎸), 3.0㎚(1㎸)
·Magnification : x10 ~ x1,000,000
·Accelerating voltage : 0.2 to 30㎸
·Probe current : 10-12 ~ 2 x 10-7 A
·Electron Gun :Schottky type field emission gun
·Objective lens(O.L) : Super conical out lens.
·Specimen Exchange Chamber : 5aixs motor control
·Electreon Detectors : Secondary electron detector
·Retractable backscattered electron detector

● 적용(응용)분야

▶ 반도체, 물리, 화학

이용안내

직접사용,기타

이용안내

시료성상액체 시료 불가
필요 시료양/두께두께 1.5cm이하
전처리 안내비전도성 시료 코팅 필요

적용불가시료

유분, 수분, 자성이 있는 시료 불가

이용료 안내

이용단가SEM: 84,000원/시간 코팅(Pt, Au): 26,000원/회, EDS분석: Point 3,000원/회, Mapping : 5,000원/회, Line : 5,000원/회

기관/담당자 정보

보유기관명인천대학교 공동기기원
주소인천광역시 연수구 아카데미로 119 (송도동 12-1) 인천대학교 송도캠퍼스 9호관 222호
담당자 연락처032-835-4330

장비 위치안내

설치장소인천광역시 연수구 아카데미로 119 (송도동 12-1) 인천대학교 송도캠퍼스 9호관 222호

문의전화032-835-4330

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활용 및 연구분야

반도체, 물리, 화학 등

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