열 전계방출형 주사 전자현미경 7800F > 연구장비

광학ㆍ전자 영상장비

열 전계방출형 주사 전자현미경 7800F

JSM-7800F

주사 전자현미경은 전자 빔이 표면에 집중되어 일차 전자만 굴절되고 표면에서 발생된 이차전자를 수집하여 그 신호들을 형상화시키는 현미경으로서 시료 표면의 정보를 얻을 수 있다. 현재 보유중인 FE-SEM는 낮은 가속전압에서도 시편 관찰이 용이하여 전자 빔에 의한 시료의 손상을 최소화 할 수 있다. 또한 EDS가 부착되어 있어 시편의 성분과 표면성분에 관한 연구를 수행할 수 있다. 이러한 장점으로 물질연구, 생물학, 고분자 특성연구, 반도체 연구 등 많은 분야에 널리 이용된다.

장비 정보
일련번호	1016
장비명 영문	Field Emission Scanning Electron Microscope
약칭	FE-SEM/EDS
제작사	JEOL
모델명	JSM-7800F
도입년도	-
시설장비등록번호	-
보유기관	인천대학교 공동기기원
표준분류	광학/전자영상장비>현미경>주사전자현미경
활동범위	공동활용
활용대상	기관외부활용,기관내부활용
예약방법	기관홈페이지,유선문의

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장비 상세정보

주료 구성 및 기능

● 규격

1. Resolution : 0.8nm(15 KV), 1.2nm(1 KV)
2. Accelerating Voltage : 0.01 to 30kV
3. Probe Current : A few pA to 200nA
4. Electron Gun : In Lens Schottky Field-Emission Gun
5. Objective Lens : Super Hybrid Lens
6. Electron Detection System : SED, UED, BED
7. EDS : Oxford(X-max 50㎟), AZtec
8. Energy Resolution ≤127eV at 130kcps

● 적용(응용)분야

- 반도체, 물리, 화학

이용안내

시험의뢰

이용안내

시료성상액체 시료 불가
필요 시료양/두께두께 1.5cm이하
전처리 안내비전도성 시료 코팅 필요

적용불가시료

유분, 수분, 자성이 있는 시료 불가

활용사례

* 나노섬유, 나노입자, 나노필름 등의 표면 형태, 크기, 길이, 분포 등을 고해상도로 관찰
* 다공성 분말이나 필터 등의 기공(Pore) 크기와 분포를 확인
* 박막, 다층 필름, 도금된 물질 등의 단면을 관찰하여 각 층의 두께를 측정하고 구조를 확인

기관/담당자 정보

보유기관명인천대학교 공동기기원
주소인천광역시 연수구 아카데미로 119 (송도동 12-1) 인천대학교 송도캠퍼스 9호관 213B호
담당자 연락처032-835-4240

장비 위치안내

설치장소인천광역시 연수구 아카데미로 119 (송도동 12-1) 인천대학교 송도캠퍼스 9호관 213B호

문의전화032-835-4240

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활용 및 연구분야

반도체, 물리, 화학 등

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