BIOMAP

● 원리 및 특성

- 주사 전자현미경은 전자 빔이 표면에 집중되어 일차 전자만 굴절되고 표면에서 발생된 이차전자를 수집하여 그 신호들을 형상화시키는 현미경으로서 시료 표면의 정보를 얻을 수 있다.
- 현재 보유중인 FE-SEM는 낮은 가속전압에서도 시편 관찰이 용이하여 전자 빔에 의한 시료의 손상을 최소화 할 수 있다.
-EDS가 부착되어 있어 시편의 성분과 표면성분에 관한 연구를 수행할 수 있다.
- EBSD (Electron Backscatter Diffraction System) 검출기가 장착되어 회절현상으로 시료의 결정 방향이나 조직경향, 결정립 크기 및 경계 등 다양한 데이터 분석 가능하다.
- 이러한 장점으로 물질연구, 생물학, 고분자 특성연구, 반도체 연구 등 많은 분야에 널리 이용 됩니다.


● 적용(응용)분야

- 반도체, 물리, 화학

직접사용,시험의뢰,기타

• 시료성상액체 시료 불가
• 필요 시료양/두께두께 1.5cm 이하
• 전처리 안내비전도성 시료 코팅 필요

유분, 수분, 자성이 있는 시료 불가

*나노섬유, 나노입자, 나노필름 등의 표면 형태, 크기, 길이, 분포 등을 고해상도로 관찰
*다공성 분말이나 필터 등의 기공(Pore) 크기와 분포를 확인
*박막, 다층 필름, 도금된 물질 등의 단면을 관찰하여 각 층의 두께를 측정하고 구조를 확인
*EBSD 분석을 통해 결정방위 분포(ODF), 집합조직, 입계 특성 및 변형 미세조직 정량적 평가 가능

• 이용단가SEM: 100,000원/시간 코팅(Pt, Au): 26,000원/회, EDS분석: Point 3,000원/회 Mapping 5,000원/회, Line 5,000원/회 EBSD분석: 200,000원/시간

• 보유기관명인천대학교 공동기기원
• 주소인천광역시 연수구 아카데미로 119 (송도동 12-1) 인천대학교 송도캠퍼스 9호관 203-B호
• 담당자 연락처032-835-4331

반도체, 물리, 화학 등