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연구장비

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화합물 전처리ㆍ분석장비

X-선 광전자 분광기

Nexsa-G2

시료의 표면에 X-선을 입사하여 방출되는 전자의 운동에너지 통해 결합에너지를 측정

장비 정보
일련번호 0003
장비명 영문 X-ray Photoelectron Spectroscopy
약칭 XPS
제작사 Thermoscientific
모델명 Nexsa-G2
도입년도 2022년 06월 03일
시설장비등록번호 NFEC-2022-06-279548
보유기관 인하대학교 표준연구분석원
표준분류 분석장비 > 분광분석장비 > 광전자분광기
활동범위 공동활용
활용대상 기관외부활용,기관내부활용
예약방법 기관홈페이지,유선문의
예약 바로가기

장비 상세정보

주료 구성 및 기능

● 원리 및 특징

- 시료의 표면에 X-선을 입사하여 방출되는 전자의 운동에너지 통해 결합에너지를 측정
- 결합에너지는 원소마다 고유 값을 가지므로 시료표면의 조성 및 화학적 결합상태 확인 가능
- Low energy-Ar ion etching으로 damage를 최소화하여 깊이 방향 분석 가능

● 사양

- X-ray source : monochromated AI Kα
- spot size : 30㎛ to 400㎛
- charge compensation with Flood gun
- XPS depth profile
- Ion source energy: 100V to 3keV - low energy is possible

이용안내

시험의뢰

이용안내
  • 시료성상고체
  • 필요 시료양/두께박막 : 10mm*10mm*4mm 이하, 분말 : 펼쳐서 지름 5mm 정도 될수 있는 양
  • 전처리 안내5mm 미만의 박막 시료와 분말은 카본테이브로 고정
적용불가시료

성상, 두께에 따라 제약이 있음

이용료 안내
  • 이용단가박막 표면분석 : 100,000원/개 , 분말 표면분석 : 120,000원/개, 박막 depth profile : 120,000원/시간
  • 추가비용ARXPS : 200,000원/개
기관/담당자 정보
  • 보유기관명인하대학교 표준분석연구원
  • 주소인천광역시 미추홀구 인하로 100 인하대학교 60주년기념관 042
  • 담당자 연락처이신애 / 032-860-8668
장비 위치안내

설치장소인천광역시 미추홀구 인하로 100 인하대학교 60주년기념관 042

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활용 및 연구분야

다양한 고체 시료의 표면 물성분석

사용 시 주의사항

직접 사용 불가

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