X-선 광전자 분광기
Nexsa-G2시료의 표면에 X-선을 입사하여 방출되는 전자의 운동에너지 통해 결합에너지를 측정
| 일련번호 | 0003 |
|---|---|
| 장비명 영문 | X-ray Photoelectron Spectroscopy |
| 약칭 | XPS |
| 제작사 | Thermoscientific |
| 모델명 | Nexsa-G2 |
| 도입년도 | 2022년 06월 03일 |
| 시설장비등록번호 | NFEC-2022-06-279548 |
| 보유기관 | 인하대학교 표준연구분석원 |
| 표준분류 | 분석장비 > 분광분석장비 > 광전자분광기 |
| 활동범위 | 공동활용 |
| 활용대상 | 기관외부활용,기관내부활용 |
| 예약방법 | 기관홈페이지,유선문의 |
장비 상세정보
주료 구성 및 기능
● 원리 및 특징
- 시료의 표면에 X-선을 입사하여 방출되는 전자의 운동에너지 통해 결합에너지를 측정
- 결합에너지는 원소마다 고유 값을 가지므로 시료표면의 조성 및 화학적 결합상태 확인 가능
- Low energy-Ar ion etching으로 damage를 최소화하여 깊이 방향 분석 가능
● 사양
- X-ray source : monochromated AI Kα
- spot size : 30㎛ to 400㎛
- charge compensation with Flood gun
- XPS depth profile
- Ion source energy: 100V to 3keV - low energy is possible
이용안내
시험의뢰
이용안내
- 시료성상고체
- 필요 시료양/두께박막 : 10mm*10mm*4mm 이하, 분말 : 펼쳐서 지름 5mm 정도 될수 있는 양
- 전처리 안내5mm 미만의 박막 시료와 분말은 카본테이브로 고정
적용불가시료
성상, 두께에 따라 제약이 있음
이용료 안내
- 이용단가박막 표면분석 : 100,000원/개 , 분말 표면분석 : 120,000원/개, 박막 depth profile : 120,000원/시간
- 추가비용ARXPS : 200,000원/개
기관/담당자 정보
- 보유기관명인하대학교 표준분석연구원
- 주소인천광역시 미추홀구 인하로 100 인하대학교 60주년기념관 042
- 담당자 연락처이신애 / 032-860-8668
장비 위치안내
설치장소인천광역시 미추홀구 인하로 100 인하대학교 60주년기념관 042
활용 및 연구분야
다양한 고체 시료의 표면 물성분석
사용 시 주의사항
직접 사용 불가
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