집속이온빔 전자현미경 > 연구장비

광학ㆍ전자 영상장비

Helios 5 UX

주사전자현미경(SEM)에 이온가공(밀링 또는 증착) 기능이 추가된 장비로 전자빔을 시료에 집속하여 발생되는 이차전자 및 후방산란 전자를 이용하여 시료 표면의 고분해능 이미지 관찰 및 특정 이온(Ga+이온등)을 시료표면에 주사하여 시료표면을 가공 및 관찰하는 기기

장비 정보
일련번호	0008
장비명 영문	Focused Ion Beam Electron Microscope
약칭	FIB
제작사	Thermo Fisher Scientific
모델명	Helios 5 UX
도입년도	2023년 09월 13일
시설장비등록번호	-
보유기관	인하대학교 표준분석연구원
표준분류	광학 > 현미경 > 집속이온빔전자현미경
활동범위	공동활용
활용대상	기관외부활용,기관내부활용
예약방법	기관홈페이지,유선문의

예약 바로가기

1. TEM 시료제작
2. 고분해능 전자이미지(SEM), 이온이미지(FIB) 관찰
3. 나노소자제작 및 3차원 구조물 제작
4. Pt, C, W 물질 증착
5. 나노 스케일 패터닝 (에칭, 증착)
6. EDS 화학분석

직접사용,시험의뢰,기타

액상시료, 자장이 강한 재료 등

투과전자현미경을 관찰하기 위한 시편제작(반도체, 금속, 배터리 재료)
배터리 양극 및 음극재료의 이온 밀링 후 SEM 관찰
반도체 전극 특성을 테스트 하기 위한 이온밀링 후 소자제작

설치장소인천광역시 미추홀구 인하로 100 인하대학교 60주년기념관 034호 인하대학교 60주년-034

문의전화032-860-8664

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반도체, 배터리, 금속 재료의 단면 이미지, 화학 분석 및 TEM 샘플제작

직접사용 시 담당자 직접 사용유무 검증 후 사용 가능 하며, 문제 발생 시 표준분석연구원 내규에 따름

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