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연구장비

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화합물 전처리ㆍ분석장비

광전자 분광기

K-Alpha

금속 및 반도체 표면의 전자구조의 변화, 표면의 원소에 대한 정량분석

장비 정보
일련번호 0023
장비명 영문 X-ray Photoelectron Spectroscopy
약칭 XPS
제작사 Thermo Fisher Scientific
모델명 K-Alpha
도입년도 2007년 11월 14일
시설장비등록번호 -
보유기관 인하대학교 표준분석연구원
표준분류 분석장비 > 분광분석장비 > 광전자분광기
활동범위 공동활용
활용대상 기관외부활용,기관내부활용
예약방법 기관홈페이지,유선문의
예약 바로가기

장비 상세정보

주료 구성 및 기능

● 분석기능

- 금속 및 반도체 표면의 전자구조의 변화
- 표면의 원소에 대한 정량분석
- 기체 및 금속이 흡착된 반도체와 금속표면에서의 반응성 및 결합상태
- 재배열 원자들의 결합 에너지 변화

● 사양

- X-ray source : monochromated AI Kα
- spot size : 30㎛ to 400㎛
- charge compensation with Flood gun
- XPS depth profile
- Ion source energy: 100V to 3keV - low energy is possible

이용안내

직접사용,시험의뢰,기타

이용안내
  • 시료성상고체
  • 필요 시료양/두께박막 : 10mm*10mm*4mm 이하 , 분말 : 펼쳐서 지름 5mm 정도 될수 있는 양
  • 전처리 안내5mm 미만의 박막 시료와 분말은 카본테이브로 고정
적용불가시료

성상, 두께에 따라 제약이 있음

이용료 안내
  • 이용단가박막 표면분석 : 80,000원/개 , 분말 표면분석 : 90,000원/개, 박막 depth profile : 120,000원/시간
기관/담당자 정보
  • 보유기관명인하대학교 표준분석연구원
  • 주소인천광역시 미추홀구 인하로 100 인하대학교 60주년-042
  • 담당자 연락처이신애 / 032-860-8668
장비 위치안내

설치장소인천광역시 미추홀구 인하로 100 인하대학교 60주년-042

문의전화032-860-8668

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활용 및 연구분야

다양한 고체 시료의 표면 물성분석

사용 시 주의사항

직접 사용 불가

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