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엘립소미터
FS-8다파장 타원편광분석법(Multi-Wavelength Ellipsometry)을 이용하여 박막의 두께, 굴절률(n), 소광계수(k)등 비파괴적으로 분석하는 장비이다. LED 광원 기반의 소형 장비로, 시료의 박막 증착 상태와 균일성, 광학적 특성을 빠르게 확인하는 데 적합
| 일련번호 | 5009 |
|---|---|
| 장비명 영문 | Ellipsometer |
| 약칭 | Ellipso |
| 제작사 | Film Sense |
| 모델명 | FS-8 |
| 도입년도 | 2026-12-23 |
| 시설장비등록번호 | - |
| 보유기관 | 인천대학교 공동기기원 |
| 표준분류 | - |
| 활동범위 | 공동활용 |
| 활용대상 | 기관외부활용,기관내부활용 |
| 예약방법 | 기관홈페이지 |
장비 상세정보
주료 구성 및 기능
금속·흡수성 박막 물질 광학상수와 모델에 따라 달라지며, 금속박막은 통상 약 50 nm 이하 분석에 적합
시료 크기 최대 직경 200 mm, 두께 20 mm
측정 빔 크기 약 4 × 9 mm
시료 기울기 조절 ±2°
이용안내
직접사용,시험의뢰
이용안내
- 시료성상고체
- 필요 시료양/두께박막샘플(최상층 수 nm~약 5 µm 수준)
- 전처리 안내전화문의
적용불가시료
액체, 기체시료
활용사례
박막 두께, 굴절률(n), 소광계수(k) 등
이용료 안내
- 이용단가50,000원/시료
기관/담당자 정보
- 보유기관명인천대 공동기기원
- 주소인천광역시 연수구 아카데미로 119 (송도동 12-1) 인천대학교 송도캠퍼스 9호관 104호
- 담당자 연락처032-835-4219
장비 위치안내
설치장소인천광역시 연수구 아카데미로 119 (송도동 12-1) 인천대학교 송도캠퍼스 9호관 104호
문의전화032-835-4219
활용 및 연구분야
환경, 의약, 생물, 식품 등
사용 시 주의사항
직접사용 시 연구실 안전교육(www.lab.go.kr 사이트 등) 이수증 제출 필수, 간단 사용자 교육 시 별도 비용 발생
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